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NEOMAXエンジニアリング株式会社

液晶・半導体・他装置用

お客様の“もう少し…”のご要望にお応えします

リニアモータ

コアレスリニアモータ

低速から高速まで、高い位置決め精度と等速性を実現するコアレスリニアモータです。

1.特徴

  1. 高推力(High thrust)
    • 高性能Nd-Fe-B系磁石(55MGOe)採用の磁気回路設計技術
  2. 等速性(High velocity stability)
    • 正弦波磁束プロファイルの実現による低推力リップル特性
  3. 高効率(High efficiency)
    • 高密度巻線モールドコイル採用

2.概略仕様

3.カスタム仕様

  1. 可動コイルAssyの液冷に対応致します。
  2. 設置ボリュームに合わせた形状設計を致します。
  3. Moving Magnet Typeについてもご相談を承ります。

コア付き(有鉄心)リニアモータ


トライマックス®

◎トライマックス®

独自の磁気回路構成により、可動体を磁気回路内部に貫通させ転がり支持したコンパクトかつパワフルなリニアモータ


アキュマックス®

◎アキュマックス®

可動子側を永久磁石列とし固定子側励磁コイルの低インピーダンスにすることによりコアレス方式の応答性と有鉄心方式の高推力特性をあわせ持つリニアモータ

1.特徴

◎トライマックス®
  1. 高精度(High Accuracy)
    • 有鉄心方式でありながらナノメートル位置決めを実現
  2. 高効率(High efficiency)
    • 1つのコイルで複数極を一括励磁するので低銅損
      (当社同定格推力コアレス方式対比:40%削減)
  3. 高推力(High Thrust)
    • マグネット業界で最大級の磁気エネルギーを誇る高性能Nd-Fe-B系マグネットNEOMAXの特徴をフルに活かした磁気回路構造
◎アキュマックス®
  1. 可動磁石方式採用による可動質量の低減(可動コイル対比40%に軽減)
  2. 電機子の低インピーダンス化によりコアレス方式に匹敵する応答性を実現
  3. コイルは全面通電のため各種リニアモータドライバーで駆動可能

特殊リニアモータ

NEOMAX磁石を使用した高度な磁気回路技術により、リニアモータの高推力化、小型化を行い、お客様のご要望に応じた推力、駆動方式(磁石可動型&コイル可動型)、施工範囲(磁気回路、コイル、ドライバ)での製品提供を致します。

1.カスタム仕様

  1. 可動コイルAssyの液冷に対応致します。
  2. 設置ボリュームに合わせた形状設計を致します。
  3. Moving Magnet Typeについてもご相談を承ります。

2.概略仕様例

単軸ステージ

弊社製リニアモータ(コアレス、コア付き)を搭載したステージショート〜ロングストロークまでお客様のご希望にお応えします

1.性能ご要求例

  1. 搬送のみ:ストローク、速度、加速度、動作パターンのご指定
  2. 動作性能:位置決め精度、速度安定性のご指定

XYステージ

2つの直交軸の十字型スタックタイプから固定又は可動ガントリータイプまでご希望のXY軸を所有するステージの設計製作を行ないます。(小型〜大型サイズ対応致します)

1.性能ご要求例

  1. 搬送のみ:ストローク、速度、加速度、動作パターンのご指定
  2. 動作特性:位置決め精度、速度安定性のご指定
  3. 姿勢特性:真直度(水平・垂直方向)、角度姿勢(ピッチング・ヨーイング・ローリング)のご指定
  4. 2軸同期制御:可動ガントリータイプの場合の左右軸同期制御のご指定
  5. 制御盤:ステージ+ステージ制御盤のセットでのご指定

2.性能測定結果例

多軸ステージ(XY+θ・Z軸など)

通常の単軸又はXY軸のステージにθ軸、Z軸などを付加し、動作方向の追加及び高精度用の補正軸として使用する等、お客様のニーズにお応えします。(小型〜大型サイズ対応致します)

1.性能ご要求例

  1. 動作特性:位置決め精度、速度安定性のご指定
  2. 姿勢特性:真直度(水平・垂直方向)、角度姿勢(ピッチング・ヨーイング・ローリング)のご指定
  3. 2軸同期制御:可動ガントリータイプの場合の左右軸同期制御のご指定
  4. 姿勢誤差補正:他軸とのリンク動作により、動作・姿勢の精密制御のご指定
  5. 制御盤:ステージ+ステージ制御盤のセットでのご指定