| 型式 | キーサイトテクノロジー社製 HP5529A 2セット |
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| 型式 | レニショー社製 XL-80 1セット |
| 用途 | 絶対位置精度（繰返し精度、タイムベース）、 真直度、ピッチング、ヨーイング測定用 |
| 型式 | ワイラー社製 MINI LEVEL NT 1セット |
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| 用途 | 平面度、面平行度、ピッチング測定用 |
| 型式 | メーラーウェーデルオプティカル社製ELCOMAT 3000 1セット |
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| 用途 | 走り精度測定用 |
| サイズ | 小型（250x300x30mm）：1台 大型（1000x1000x100mm)：1台 |
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| 等級 | 各0級 |
| 用途 | 直交度、平行度測定用 |
| 型式 | 東京精密社製 SVA fusion 9/10/6 |
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| 用途 | 平面度、平行度、直角度測定用 |
| 型式 | キーエンス社製 XM-5000 |
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| 用途 | 平面度、平行度、直角度測定用 |
| 型式 | キーエンス社製 VR-6200 |
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| 用途 | 平面度、凹凸測定用 |
| 型式 | キーエンス社製 HM-1200 |
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| 用途 | 高さ、平面度測定用 |
| 型式 | メトロン技研社製 SK-130 |
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| 用途 | 磁気特性測定用 |
| 型式 | 東京精密社製 RONDCOM 54 |
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| 用途 | 真円度測定用 |
| 型式 | 東京精密社製 SURFCOM TOUCH 50 |
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| 用途 | 表面粗さ測定用 |
| 型式 | ポニー工業製 Dr.FineX MH-3610-D 1セット |
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